000 01014nam a2200205 a 4500
001 000201680
003 AM-YeHGA
005 20220704183600.0
008 990626s1979 ||||||||||||||||||||rus d
040 _aAM-YeHGA
041 0 _arus
245 0 0 _aФизическая электроника :
_b"Модификация свойств тонких пленок ионными пучками" : Сборник статей /
_cКаунас. политехн. ин-т им. Антанаса Снечкуса.
260 _aВильнюс :
_bБ. и.,
_c1979.
300 _a104 с. :
_bил.
504 _aБиблиогр.: в конце статей
650 1 4 _aПленки тонкие
_xМодифицирование радиационное
_vСборники
650 1 4 _aПленки тонкие
_xОблучение ионами
_vСборники
710 2 _aКаунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса
942 _2udc
_cBK
999 _c394132
_d394132