TY - BOOK AU - Барабан,Александр Петрович AU - Булавинов,Владимир Владимирович AU - Коноров,Павел Павлович TI - Электроника слоев SiO₂ на кремнии SN - 5288000557 PY - 1988/// CY - Ленинград PB - ЛГУ KW - Кремний, двуокись KW - Поверхностные свойства N2 - Библиогр.: с. 275-301 (640 назв.) ER -