Валиев, Камиль Ахметович <br/><br/>
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / 
К.А. Валиев, А.В. Раков. 
 - Москва :  Радио и связь,  1984. 
 - 350 с. :  ил. 32, табл. 27. 
<br/><br/>Библ. 224 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Машиностроение