Броудай, И. <br/><br/>
Физические основы микротехнологии / 
И. Броудай, Дж. Мерей ; Пер. с англ. В.А. Володина, В.С. Першенкова и др. ; Под ред. А.В. Шальнова. 
 - Москва :  Мир,  1985. 
 - 496 с. ;  ил. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label> 2.60 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Радиотехника. Электроника