Корсунский, А. А. Индикатор толщины тонких слоев, получаемых методом вакуумного распыления материалов / А. А. Корсунский, И. Г. Разумнов. - Москва: [б. и.], 1961. - 14 с., ил. - Электронные вычислительные машины . Subjects--Index Terms: Пленки тонкие - Толщина - Измерение