TY - BOOK AU - Чехович,Евгений Казимирович ED - Институт электроники АН БССР TI - Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники SN - 5343000878 PY - 1989/// CY - Минск PB - Наука и техника KW - Микроэлектронная аппаратура KW - Размеры KW - Технический контроль автоматический KW - Контрольно-измерительные инструменты KW - Приборы оптоэлектронные N1 - Библиогр.: с. 200-211 ER -