(NoPTIKO(B-(N\LEKTRONNYE METODY AWTOMATIZIROWANNOGO KONTROLQ TOPOLOGII IZDELIJ MIKRO\LEKTRONIKI (B/s - (N~EHOWI^(B, (NeWGENIJ kAZIMIROWI^s; (NiNSTITUT \LEKTRONIKI an bssrs ((NmINSK (B:s (NnAUKA I TEHNIKA(B,s, 1989)
(NbIBLIOGR(B.: (NS(B. 200-211s
Keywords: (NmIKRO\LEKTRONNAQ APPARATURAs -- (NrAZMERYs -- (NtEHNI^ESKIJ KONTROLX AWTOMATI^ESKIJs; (NkONTROLXNO(B-(NIZMERITELXNYE INSTRUMENTYs; (NpRIBORY OPTO\LEKTRONNYEs