Чехович, Евгений Казимирович <br/><br/>
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / 
Е.К. Чехович ; АН БССР. Ин-т электроники. 
 - Минск :  Наука и техника,  1989. 
 - 213 с. ;  20 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 200-211 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5343000878 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронная аппаратура--Размеры--Технический контроль автоматический<br/>Контрольно-измерительные инструменты<br/>Приборы оптоэлектронные