TY - BOOK AU - Дубицкий,Лев Григорьевич TI - Оптические методы контроля интегральных микросхем: Состояние и перспективы совершенствования PY - 1982/// CY - Москва PB - Радио и связь KW - Микроэлектронные схемы интегральные KW - Производство KW - Технический контроль N1 - Библиогр.: с. 126-133 ER -