TY - BOOK AU - Белов,Игорь Александрович AU - Шеленшкевич,Владимир Александрович AU - Шуб,Леонид Исаакович TI - Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем SN - 5732500014 PY - 1991/// CY - Ленинград PB - Политехника KW - Машиностроение N1 - Библиогр.: с. 283-286 ER -