TY - BOOK AU - Александров,Леонид Наумович AU - Бочкова,Раиса Васильевна AU - Стенин,С.И. ED - Институт физики полупроводников СО АН СССР TI - Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло SN - 5020296961 PY - 1991/// CY - Новосибирск PB - Наука. Сиб. отд-ние KW - Физика ER -