Степанов, Аркадий Евгеньевич <br/><br/>
Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов / 
А.Е. Степанов, Л.Г. Кириллова ; АН УССР, Ин-т пробл. моделирования в энергетике. 
 - Киев :  Наукова думка,  1988. 
 - 181,[3] с. :  ил. ;  20 см. 
<br/><br/> Библиогр.: с. 176-182 (130 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5120093337  2.20 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники - Кристаллы - Получение