Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем :  Учебное пособие / 
Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина); Под ред.: В.В. Игнатьева. 
 - Ленинград :  ЛЭИ,  1977. 
 - 89 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 88 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Гибридные интегральные микросхемы