TY - BOOK AU - Тихонов,Юрий Николаевич ED - Московский институт радиотехники, электроники и автоматики TI - Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства: Учебное пособие PY - 1977/// CY - Москва PB - Б. и. KW - Полупроводники - Производство KW - Микроэлектронные схемы - Производство N1 - Библиогр.: с. 116 ER -