Тихонов, Юрий Николаевич <br/><br/>
Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства :  Учебное пособие / 
Тихонов Ю.Н.; Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. 
 - Москва :  Б. и.,  1977. 
 - 116 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 116 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводники - Производство Микроэлектронные схемы - Производство