Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов :  Сборник статей / 
Ин-т прикладной химии; Под ред. В.С. Шпака. 
 - Ленинград :  Б.и.,  1976. 
 - 103 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 99-101 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Неорганическая химия