TY - BOOK AU - Четвериков,Николай Иванович AU - Полутин,Владимир Степанович TI - Материаловедение в микроэлектронике PY - 1979/// CY - Москва PB - Знание KW - Микроэлектроника - Материаловедение N1 - Библиогр.: с. 63-64 ER -