Четвериков, Николай Иванович Материаловедение в микроэлектронике / Н.И. Четвериков, В.С. Полутин. - Москва : Знание, 1979. - 64 с. : схем. - Новое в жизни, науке, технике Радиоэлектроника и связь 11/1979 . Библиогр.: с. 63-64 Subjects--Index Terms: Микроэлектроника - Материаловедение