TY - BOOK AU - Геллер,Исаак Хаимович AU - Подмарьков,А.Н. ED - Московский энергетический институт TI - Технология производства полупроводниковых элементов: (Конспект лекций) PY - 1975/// CY - Москва PB - МЭИ KW - Полупроводниковые приборы - Технология N1 - Ч. 1 (1975, 122 с., ил.) ER -