Риссел, Х.

Ионная имплантация : Пер. с нем. / Х. Риссел, И. Руге; Пер. с нем. В.В. Климова, В.Н. Пальянова под ред. М.И. Гусевой. - Москва : Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1983. - 360 с. ; 22 см.


Легирование ионное
Полупроводники