TY - BOOK AU - Гранкин,Илья Михайлович AU - Коломейко,Анатолий Викторович AU - Погребняк,Виталий Петрович TI - Высокоразрешающая неорганическая фотолитография PY - 1983/// CY - Киев PB - Вища шк, Изд-во при Киев. ун-те KW - Фотолитография KW - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство N1 - Библиогр.: с. 49-52 ER -