Гранкин, Илья Михайлович <br/><br/>
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / 
И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк. 
 - Киев :  Вища шк  Изд-во при Киев. ун-те,  1983. 
 - 53 с. :  ил. 
 - Ученые вузов производству .
<br/><br/>Библиогр.: с. 49-52 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные - Производство