TY - BOOK AU - Бурмаков,Александр Пантелеевич AU - Гайдук,Петр Иванович AU - Комаров,Фадей Фадеевич AU - Леонтьев,Александр Викторович TI - Физические основы технологии микроэлектроники: Учеб. пособие SN - 985445682X PY - 2002/// CY - Минск PB - Изд-во Белорусского гос. ун-та KW - Микроэлектроника - Физические методы N1 - Библиогр.: с. 192 ER -