Физические основы технологии микроэлектроники :  Учеб. пособие / 
А.П. Бурмаков, П.И. Гайдук, Ф.Ф. Комаров, А.В. Леонтьев. 
 - Минск :  Изд-во Белорусского гос. ун-та,  2002. 
 - 195 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 192 
<br/><br/><label>ISBN: </label>985445682X 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Физические методы