TY - BOOK AU - Румак,Николай Владимирович AU - Хатько,Вячеслав Владимирович AU - Борисенко,В.Е. TI - Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике SN - 5343005403 PY - 1990/// CY - Минск PB - Навука i тэхнiка KW - Диэлектрические пленки - Получение KW - МДП-структуры KW - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство N1 - Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.) ER -