(NdI\LEKTRI^ESKIE PLENKI W TWERDOTELXNOJ MIKRO\LEKTRONIKE (B/s - (NrUMAK(B, (NnIKOLAJ wLADIMIROWI^s; (NhATXKO(B, (NwQ^ESLAW wLADIMIROWI^s; (NbORISENKO(B, (Nw(B.(Ne(B.s ((NmINSK (B:s (NnAWUKA (Bi (NT\HN(Bi(NKA(B,s, 1990)
(NbIBLIOGR(B.: (NS(B. 181-189 (225 (NNAZW(B.)s
Keywords: (NdI\LEKTRI^ESKIE PLENKI (B- (NpOLU^ENIEs; (Nmdp(B-(NSTRUKTURYs; (NmIKRO\LEKTRONNYE SHEMY INTEGRALXNYE (B- (NpROIZWODSTWOs