Румак, Николай Владимирович <br/><br/>
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / 
Н.В. Румак, В.В. Хатько; Под ред. В.Е. Борисенко; АН БССР, Физ.-техн. ин-т. 
 - Минск :  Навука i тэхнiка,  1990. 
 - 190,[1] с.  ил. ;  20 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5343005403 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Диэлектрические пленки - Получение<br/>МДП-структуры<br/>Микроэлектронные схемы интегральные - Производство