TY - BOOK AU - Комаров,Фадей Фадеевич AU - Новиков,А.П. AU - Ширяев,С.Ю. AU - Соловьев,В.С. TI - Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии SN - 5785501929 PY - 1990/// CY - Минск PB - Университетское KW - Кремний KW - Дефекты N1 - Библиогр.: с. 293-318 ER -