TY - BOOK ED - "Ионно-лучевая модификация материалов", всесоюзная конф. TI - Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области: Тезисы оригинальных докладов PY - 1987/// CY - Черноголовка PB - Б. и. KW - Ионное легирование - Тезисы докладов N1 - В надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР; Библиогр. в конце ст ER -