Шнаревич, Елена Ивановна <br/><br/>
Диэлектрики интегральных схем / 
Е.И. Шнаревич, О.А. Рыбинский, В.А. Злобин. 
 - Москва :  Энергия,  1975. 
 - 120 с. :  ил. 
 - Библиотека радиотехнолога  Вып. 5 .
<br/><br/>Список лит. с. 111-118 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Диэлектрики<br/>Полупроводниковая электроника