TY - BOOK AU - Данилин,Борис Степанович AU - Нилендер,Р.А. TI - Вакуумное нанесение тонких пленок PY - 1967/// CY - Москва PB - Энергия KW - Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы N1 - Библиогр.: с. 304-311(166 назв.) ER -