Fundamental Scientific Library of NAS RA

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве /

Быстров, Юрий Александрович

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин, Б.Н. Котлецов. - Москва : Радио и связь, 1988. - 165,[2] с. : ил. ; 22 см.

ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1988 այլ Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)

5256000063


Микроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль


ՀՀ ԳԱԱ հիմնարար գիտական գրադարան
ՀՀ,Երևան 0019
Մարշալ Բաղրամյան 24/6
հեռախոս:(374-10) 52-47-50
Հետադարձ կապ

All site content, except where otherwise noted, is licensed under a
Creative Commons License