Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники /
Чехович, Евгений Казимирович
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е.К. Чехович ; АН БССР. Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. ; 20 см.
Библиогр.: с. 200-211
5343000878
Микроэлектронная аппаратура--Размеры--Технический контроль автоматический
Контрольно-измерительные инструменты
Приборы оптоэлектронные
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е.К. Чехович ; АН БССР. Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. ; 20 см.
Библиогр.: с. 200-211
5343000878
Микроэлектронная аппаратура--Размеры--Технический контроль автоматический
Контрольно-измерительные инструменты
Приборы оптоэлектронные