Fundamental Scientific Library of NAS RA

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники /

Чехович, Евгений Казимирович

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е.К. Чехович ; АН БССР. Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 213 с. ; 20 см.

Библиогр.: с. 200-211

5343000878


Микроэлектронная аппаратура--Размеры--Технический контроль автоматический
Контрольно-измерительные инструменты
Приборы оптоэлектронные


ՀՀ ԳԱԱ հիմնարար գիտական գրադարան
ՀՀ,Երևան 0019
Մարշալ Բաղրամյան 24/6
հեռախոս:(374-10) 52-47-50
Հետադարձ կապ

All site content, except where otherwise noted, is licensed under a
Creative Commons License