Fundamental Scientific Library of NAS RA

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /

Мягков, Алексей Тихонович

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А.Т. Мягков, Е.М. Корсетов. - Москва : Энергия, 1979. - 312 с. : ил.

Библиогр.: с. 305-310


Микроэлектроника

Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Оборудование


ՀՀ ԳԱԱ հիմնարար գիտական գրադարան
ՀՀ,Երևան 0019
Մարշալ Բաղրամյան 24/6
հեռախոս:(374-10) 52-47-50
Հետադարձ կապ

All site content, except where otherwise noted, is licensed under a
Creative Commons License