Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов /
Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники : Сборник научных трудов /
Моск. ин-т электрон. техники; Редкол.: И.Г. Блинов (гл. ред.) и др.
- Москва : МИЭТ, 1984.
- 135 с. : ил.
Библиогр. в конце ст.
Электронная промышленность, предприятия - Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
Библиогр. в конце ст.
Электронная промышленность, предприятия - Оборудование Микроэлектронные схемы интегральные - Производство