Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области : Тезисы оригинальных докладов.
Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация материалов", 23-25 июня 1987 г., Черноголовка Московской области : Тезисы оригинальных докладов.
- Черноголовка : Б. и., 1987.
- 279 с. : ил. ; 20 см.
В надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Библиогр. в конце ст.
Ионное легирование - Тезисы докладов
В надзаг.: Секция "Технология направл. обраб. поверхности" Науч. совета АН СССР "Физика, химия и механика поверхности", Секция "Ион. имплантация" Науч. совета АН СССР по пробл."Физика и химия полупроводников", Науч. совет ГКНТ по пробл. "Обраб. конструкц. материалов пучками заряж. частиц", Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Библиогр. в конце ст.
Ионное легирование - Тезисы докладов
All site content, except where otherwise noted, is licensed under a