Вакуумное нанесение тонких пленок /
Данилин, Борис Степанович
Вакуумное нанесение тонких пленок / Б.С. Данилин ; Под. ред. Р.А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1967. - 312 с. : ил.
Библиогр.: с. 304-311(166 назв.)
Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы
Вакуумное нанесение тонких пленок / Б.С. Данилин ; Под. ред. Р.А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1967. - 312 с. : ил.
Библиогр.: с. 304-311(166 назв.)
Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы